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支持多個標記物同時檢測，單組分檢測時間小于0.5S。
●真空適應性強
適用于真空度10Pa到常壓應用場合下ppb級殘余氣體分析。
●設計緊湊
采用模塊化設計、結構簡單、尺寸小巧，可以方便嵌入生產工藝中。
●自動校準
具備自動校準功能，消除傳感器運行漂移，確保長期數據穩(wěn)定性。
●智能診斷
功能強大的殘余氣體專用分析軟件，具備自動標定、數據處理、儀器調諧和方法開發(fā)等多種功能，并集成診斷工具，隨時監(jiān)控儀器及工藝參數狀態(tài)。