高精度痕量氣體分析儀（TGA-327）是一款專(zhuān)為測(cè)量氟化氫(HF)而設(shè)計(jì)的專(zhuān)業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有超高的靈敏度，其檢測(cè)下限可達(dá)ppt級(jí)別。不需要現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測(cè)量。 
該分析儀內(nèi)部管路都進(jìn)行了特殊涂層，可以有效的減小氟化氫(HF)分子在管道壁上的吸附，加速測(cè)量的響應(yīng)時(shí)間并消除測(cè)量偏差。同時(shí)分析儀采 用小體積腔設(shè)計(jì)，能夠進(jìn)一步提升測(cè)量速度。 
光腔衰蕩光譜（CRDS）與離子遷移譜（IMS）和離子色譜傳統(tǒng)技術(shù)相比，具有探測(cè)下限低、響應(yīng)時(shí)間快、無(wú)需耗材等顯著優(yōu)勢(shì)，該分析儀具有更優(yōu)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和低維護(hù)性。