高精度痕量氣體分析儀（TGA-323）是一款專為測量氯化氫(HCl)而設計的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術（CRDS），具有超高的靈敏度，其檢測下限可達ppt級別。不需要現(xiàn)場校準，非常適合連續(xù)測量。 
該分析儀內部管路都進行了特殊涂層，可以有效的減小氯化氫(HCl)分子在管道壁上的吸附，加速測量的響應時間并消除測量偏差。同時分析儀采用小體積腔設計，能夠進一步提升測量速度。 
光腔衰蕩光譜（CRDS）與離子遷移譜（IMS）和離子色譜傳統(tǒng)技術相比，具有探測下限低、響應時間快、無需耗材等顯著優(yōu)勢，該分析儀具有更優(yōu)的長期穩(wěn)定性和低維護性。